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恒格密封产品分类三——耐高温 Excellent Temp Resistance
恒格密封产品分类三——耐高温 Excellent Temp Resistance
采用能强化聚合物稳定性且抗高温的填加物(如石墨等) 最高工作温度:
325
度
应用:半导体高温制程,炉管,退火等制程
应用位置:中心环密封,过滤器密封
耐高温材料物性
其它产品
恒格密封产品分类二——超洁净 Ultra Clean
采用对制程无污染、且分子量极小的材质作为填加物(如:硅等) 优点:无固态生成物应用:干式和湿式半导体工艺应用位置:进气口/孔密封、室内盖密封、隔离阀密封等超洁净材料物性
恒格密封产品分类一——超强耐腐蚀类 Low Etch Rate
采用化学稳定性极高的金属化合物粉末作为填加物(如硫钡BaSO4,二氧化钛TiO2,陶瓷等) 优点:极好的耐等离子腐蚀性能应用:深硅刻蚀设备、AMAT ETCH 装备的标准配置应用位置:腔体门板、进气口超强耐腐蚀类材料物性
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